振子框架式微機械陀螺的優(yōu)化設計及電學模擬

根據(jù)驅(qū)動模態(tài)頻率和檢測模態(tài)的頻率相互匹配,用有限元法優(yōu)化了振子框架式微機械陀螺的結(jié)構(gòu)尺寸;根據(jù)建立的陀螺振動的等效電路模型,對檢測振動的性能進行了模擬分析,該模型為傳感器與接口電路的整體模擬打下了基礎.

作 者： 車錄鋒 熊斌 王躍林   作者單位： 中國科學院上海微系統(tǒng)與信息技術研究所,傳感技術國家重點實驗室,上海,200050  刊 名： 航空學報  ISTIC EI PKU 英文刊名： ACTA AERONAUTICA ET ASTRONAUTICA SINICA  年，卷(期)： 2002 23(3)  分類號： V241.5 O318 O327  關鍵詞： 微機械陀螺   優(yōu)化設計   等效電路模型   模擬  

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